SrTiO3 субстрат
Сипаттама
SrTiO3 монокристалы перовскит құрылымының материалының жақсы торлы құрылымына ие.Бұл HTS және көптеген оксидті қабықшалардың эпитаксиясының өсуі үшін тамаша субстрат материалы.Ол жоғары температуралы асқын өткізгіш жұқа қабықшаларды зерттеуде кеңінен қолданылды.Ол сондай-ақ арнайы оптикалық терезелерде және жоғары сапалы шашыратқыш нысандарда кеңінен қолданылады.
Қасиеттер
Бағыт: (100) +/-0,5 градус
Жиек бағдары Көрсеткіш: <001> +/-2 градус қосымша құны бар опция ретінде қолжетімді
Поляк: CMP технологиясымен жылтыратылған бір жақты EPI жер асты торының зақымдалуы аз.
Пакет: 1000 класс таза бөлмеден төмен 100 сортты пластик пакетке оралған.
| Кристалл құрылымы | Куб, a=3,905 А |
| Өсу әдісі | Вернуиль |
| Тығыздығы（г/см3） | 5.175 |
| Балқу нүктесі（℃） | 2080 |
| Қаттылық (Mho) | 6 |
| Термиялық кеңею | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Диэлектрик тұрақтысы | ~ 300 |
| 10 ГГц жиіліктегі жоғалту тангенсі | ~5x10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| Түс және сыртқы түрі | Мөлдір (кейде жасыту жағдайына байланысты сәл қоңыр).Егіздер жоқ |
| Химиялық тұрақтылық | Суда ерімейді |
SrTiO3 субстрат анықтамасы
SrTiO3 субстраты стронций титанатынан (SrTiO3) жасалған кристалды субстратқа жатады.SrTiO3 - текше кристалдық құрылымы бар перовскит материалы, ол жоғары диэлектрлік өтімділікпен, жоғары термиялық тұрақтылықпен және көптеген басқа материалдармен жақсы сәйкес келетін тормен сипатталады.
SrTiO3 субстраттары жұқа қабықшаны тұндыру және эпитаксиалды өсу салаларында кеңінен қолданылады.SrTiO3 текше құрылымы тамаша кристалдық сапасы мен ақау тығыздығы төмен жоғары сапалы жұқа қабықшалардың өсуіне мүмкіндік береді.Бұл SrTiO3 субстраттарын әртүрлі қолданбалар үшін эпитаксиалды пленкалар мен гетероструктураларды өсіру үшін өте қолайлы етеді.
SrTiO3 жоғары диэлектрлік өтімділігі оны конденсаторлар, жад құрылғылары және ферроэлектрлік жұқа қабықшалар сияқты қолданбаларға қолайлы етеді.Оның термиялық тұрақтылығы оны жоғары температурада қолдануға жарамды етеді.
Сонымен қатар, SrTiO3-тің әртүрлі қасиеттері, мысалы, оның төмен температурадағы металл өткізгіштігі және асқын өткізгіш күйді индукциялау мүмкіндігі оны конденсацияланған заттар физикасын зерттеуге және электронды және оптоэлектрондық құрылғыларды жасауға пайдалы етеді.
Қорытындылай келе, SrTiO3 субстраттары стронций титанатынан жасалған кристалды субстраттар болып табылады, олар жоғары диэлектрлік тұрақтылығының, термиялық тұрақтылығының және жақсы тордың сәйкестік қасиеттерінің арқасында жұқа қабықшаның тұндыруында, эпитаксиалды өсуде және кең ауқымды электронды және оптоэлектрондық қолданбаларда қолданылады.
