MgF2 субстрат
Сипаттама
MgF2 линза, призма және 110 нм-ден 7,5 мкм-ге дейінгі толқын ұзындығы үшін терезе ретінде пайдаланылады.Бұл ArF Excimer Laser үшін терезе ретінде ең қолайлы материал, өйткені оның 193 нм-де жақсы өтуі.Ол ультракүлгін аймақта оптикалық поляризация ретінде де тиімді.
Қасиеттер
| Тығыздығы（г/см3） | 3.18 |
| Балқу нүктесі (℃) | 1255 |
| Жылу өткізгіштік | 300K кезінде 0,3 Вт-1К-1 |
| Термиялық кеңею | 13,7 x 10-6 /℃ параллель с осі 8,9 x 10-6 /℃ перпендикуляр с осі |
| Қаттылық | 415 100 г индентімен (кг/мм2) |
| Меншікті жылу сыйымдылығы | 1003 Дж/(кг.к) |
| Диэлектрик тұрақтысы | 1 МГц параллель с осінде 1,87 1 МГц перпендикуляр с осінде 1,45 |
| Жас модулі (Е) | 138,5 ГПа |
| Кесу модулі (G) | 54,66 ГПа |
| Жаппай модуль (K) | 101,32 ГПа |
| Серпімділік коэффициенті | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Көрінетін серпімділік шегі | 49,6 МПа (7200 psi) |
| Пуассон қатынасы | 0,276 |
MgF2 субстрат анықтамасы
MgF2 субстраты магний фторидінен (MgF2) кристалды материалдан жасалған субстратқа жатады.MgF2 — магний (Mg) және фтор (F) элементтерінен тұратын бейорганикалық қосылыс.
MgF2 субстраттары оларды әртүрлі қолданбаларда, әсіресе оптика және жұқа қабықша тұндыру салаларында танымал ететін бірнеше маңызды қасиеттерге ие:
1. Жоғары мөлдірлік: MgF2 электромагниттік спектрдің ультракүлгін (УК), көрінетін және инфрақызыл (ИК) аймақтарында тамаша мөлдірлікке ие.Ол шамамен 115 нм-дегі ультракүлгін сәуледен шамамен 7500 нм-дегі инфрақызылға дейін кең тарату диапазонына ие.
2. Төмен сыну индексі: MgF2 салыстырмалы түрде төмен сыну көрсеткішіне ие, бұл оны AR жабындары мен оптика үшін тамаша материал етеді, өйткені ол қажетсіз шағылысуларды азайтады және жарық өткізуді жақсартады.
3. Төмен жұтылу: MgF2 ультракүлгін және көрінетін спектрлік аймақтарда төмен жұтылуды көрсетеді.Бұл қасиет оны линзалар, призмалар және ультракүлгін немесе көрінетін сәулелерге арналған терезелер сияқты жоғары оптикалық айқындықты қажет ететін қолданбаларда пайдалы етеді.
4. Химиялық тұрақтылық: MgF2 химиялық тұрақты, химиялық заттардың кең спектріне төзімді және қоршаған орта жағдайларының кең ауқымында өзінің оптикалық және физикалық қасиеттерін сақтайды.
5. Термиялық тұрақтылық: MgF2 жоғары балқу температурасына ие және айтарлықтай деградациясыз жоғары жұмыс температурасына төтеп бере алады.
MgF2 субстраттары әдетте оптикалық жабындарда, жұқа пленка тұндыру процестерінде және әртүрлі құрылғылар мен жүйелерде оптикалық терезелерде немесе линзаларда қолданылады.Олар сонымен қатар жартылай өткізгіш материалдар немесе металл жабындар сияқты басқа жұқа қабықшалардың өсуіне арналған буферлік қабаттар немесе шаблондар ретінде қызмет ете алады.
Бұл субстраттар әдетте MgF2 материалы қолайлы субстрат материалында тұндырылған немесе бір кристал ретінде өсірілген бу тұндыру немесе физикалық бу тасымалдау әдістері сияқты әдістерді қолдану арқылы өндіріледі.Қолдану талаптарына байланысты субстраттар пластиналар, пластиналар немесе арнайы пішіндер түрінде болуы мүмкін.
