LaAlO3 субстрат
Сипаттама
LaAlO3монокристалл - ең маңызды индустрияланған, үлкен өлшемді жоғары температуралы асқын өткізгіш жұқа пленкалық субстрат монокристалды материал.Оның диаметрі 2 дюйм және одан да үлкен монокристалды және субстраттың Чохральски әдісімен өсуі жоғары температуралы асқын өткізгіш микротолқынды электронды құрылғыларды (мысалы, жоғары температуралы асқын өткізгіш микротолқынды сүзгілердегі алыс қашықтыққа байланыс және т.б.) өндіруге жарамды.
Қасиеттер
| Кристалл құрылымы | M6（қалыпты температура） | M3（>435℃） |
| Бірлік ұяшық тұрақтысы | M6 a=5,357A c=13,22 A | M3 a=3,821 A |
| Балқу нүктесі（℃） | 2080 | |
| Тығыздығы（г/см3） | 6.52 | |
| Қаттылық (Mho) | 6-6,5 | |
| Термиялық кеңею | 9,4x10-6/℃ | |
| Диэлектрлік тұрақтылар | ε=21 | |
| Секантты жоғалту（10Гц) | ～3×10-4@300k,～0,6×10-4@77k | |
| Түс және сыртқы түрі | Жасыту және жағдайлары қоңырдан қоңырға дейін ерекшеленеді | |
| Химиялық тұрақтылық | Бөлме температурасы минералдарда ерімейді, еритін h3po4 температурасында 150 ℃ жоғары. | |
| Сипаттамалары | Микротолқынды электронды құрылғыға арналған | |
| Өсу әдісі | Чохральский әдісі | |
| Өлшем | 10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， | |
| Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″,Ф2.6″ | ||
| Қалыңдық | 0,5мм，1,0мм | |
| Жылтырату | Жалғыз немесе қос | |
| Кристаллды бағдарлау | ＜100＞＜110＞＜111＞ | |
| Қайта бағыттау дәлдігі | ±0,5° | |
| Жиекті қайта бағыттау | 2°（арнайы 1°） | |
| Кристаллдық бұрыш | Арнайы өлшем мен бағдар сұраныс бойынша қол жетімді | |
| Ra | ≤5Å（5µm×5µm） | |
| Пакет | 100 таза сөмке， 1000 дәл таза сөмке | |
Төмен диэлектрлік тұрақтының артықшылығы
Сигналдың бұрмалануын азайтыңыз: электронды тізбектер мен байланыс жүйелерінде төмен диэлектрлік тұрақты сигналдың бұрмалануын азайтуға көмектеседі.Диэлектрлік материалдар электрлік сигналдардың таралуына әсер етіп, сигналдың жоғалуын және кідірістерін тудыруы мүмкін.Low-k материалдары бұл әсерлерді азайтып, дәлірек сигнал беруді қамтамасыз етеді және жалпы жүйе жұмысын жақсартады.
Оқшаулау тиімділігін арттыру: диэлектрлік материалдар жиі өткізгіш компоненттерді оқшаулау және ағып кетуді болдырмау үшін оқшаулағыш ретінде пайдаланылады.Төмен диэлектрлік тұрақты материалдар іргелес өткізгіштер арасындағы электростатикалық байланыста жоғалған энергияны азайту арқылы тиімді оқшаулауды қамтамасыз етеді.Бұл энергия тиімділігін арттыруға және электр жүйесінің қуат тұтынуын азайтуға әкеледі.
